专利
基于硅加热器的MEMS甲烷传感器
发布时间：2020-10-30 点击次数：
专利类型：国际
专利状态：专利授权
申请号：201420646931.4
发明人数：1
是否职务专利：否
申请日期：2014-10-31
授权日期：2015-02-11
第一作者：马洪宇
专利类型：国际
专利状态：专利授权
申请号：201420646931.4
发明人数：1
是否职务专利：否
申请日期：2014-10-31
授权日期：2015-02-11
第一作者：马洪宇