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一种MEMS甲烷传感器及其应用和制备方法
发布时间:2020-10-30  点击次数:

发明设计人:丁恩杰,刘正杰,刘晓文,赵小虎

专利类型:国内

专利状态:专利授权

申请号:201410606852.5

发明人数:5

是否职务专利:

申请日期:2014-10-31

授权日期:2018-03-02

第一作者:马洪宇