专利
一种MEMS甲烷传感器及其应用和制备方法
发布时间:2020-10-30 点击次数:
发明设计人:丁恩杰,刘正杰,刘晓文,赵小虎
专利类型:国内
专利状态:专利授权
申请号:201410606852.5
发明人数:5
是否职务专利:否
申请日期:2014-10-31
授权日期:2018-03-02
第一作者:马洪宇
发明设计人:丁恩杰,刘正杰,刘晓文,赵小虎
专利类型:国内
专利状态:专利授权
申请号:201410606852.5
发明人数:5
是否职务专利:否
申请日期:2014-10-31
授权日期:2018-03-02
第一作者:马洪宇