专利
基于硅加热器的MEMS甲烷传感器及其制备方法与应用
发布时间：2020-10-30 点击次数：
发明设计人：秦顺利,王丽影
专利类型：国内
专利状态：专利授权
申请号：201410607093.4
发明人数：3
是否职务专利：否
申请日期：2014-10-31
授权日期：2017-05-31
第一作者：马洪宇
发明设计人：秦顺利,王丽影
专利类型：国内
专利状态：专利授权
申请号：201410607093.4
发明人数：3
是否职务专利：否
申请日期：2014-10-31
授权日期：2017-05-31
第一作者：马洪宇