专利
全硅MEMS甲烷传感器及瓦斯检测应用和制备方法
发布时间：2020-10-30 点击次数：
发明设计人：王丽影,秦顺利
专利类型：国内
专利状态：专利授权
申请号：201410607031.3
发明人数：3
是否职务专利：否
申请日期：2014-10-31
授权日期：2017-05-31
第一作者：马洪宇
发明设计人：王丽影,秦顺利
专利类型：国内
专利状态：专利授权
申请号：201410607031.3
发明人数：3
是否职务专利：否
申请日期：2014-10-31
授权日期：2017-05-31
第一作者：马洪宇