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Self-heating U-shaped Cantilever Silicon Microheater for Gas Sensor
发布时间:2021-09-29  点击次数:

所属单位:化工学院

项目来源:国家科技部

第一作者:马洪宇

合写作者:王文娟,丁恩杰,赵小虎,程婷婷

论文类型:会议论文

论文编号:paper_92136

是否译文:

发表时间:2013-11-03