论文成果
Self-heating U-shaped Cantilever Silicon Microheater for Gas Sensor
发布时间:2021-09-29 点击次数:
所属单位:化工学院
项目来源:国家科技部
第一作者:马洪宇
合写作者:王文娟,丁恩杰,赵小虎,程婷婷
论文类型:会议论文
论文编号:paper_92136
是否译文:否
发表时间:2013-11-03