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氮离子注入硅表面的微摩擦学行为研究
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所属单位：材料与物理学院
第一作者：张德坤
论文类型：期刊论文
论文编号：paper_65475
是否译文：否
发表时间：2004-01-01
版权所有：中国矿业大学