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氮离子注入硅表面的力学性能及其微摩擦磨损行为研究
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所属单位：材料与物理学院
第一作者：张德坤
论文类型：期刊论文
论文编号：paper_47929
是否译文：否
发表时间：2006-01-01
版权所有：中国矿业大学