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低功耗、高灵敏度的MEMS瓦斯传感器及封装研究
发布时间:2024-02-18  点击次数:

所属单位:化工学院

负责人姓名:马洪宇

项目来源单位:科技部

项目分类:子课题

项目级别:国家级

项目编号:2012-448-5246-05

立项时间:2012-09-21

计划完成时间:2014-12-31

结项日期:2015-10-23

开始日期:2012-01-01

项目批准号:2012BAH12B01