发布时间：2024-05-28 点击次数：
DOI码：10.1016/j.vacuum.2019.01.051
所属单位：材料与物理学院
项目来源：其他课题
第一作者：刘江涛
合写作者：薛萌萌,王建利,盛昊昊,唐刚,张俊廷,白冬梅
论文类型：期刊论文
论文编号：5b5bb29475fd92540175febfe8dd0417
卷号：v 163,p128-134
ISSN号：0042207X
是否译文：否
发表时间：2019-05-01