DOI码:10.1016/j.vacuum.2020.109232
所属单位:材料与物理学院
项目来源:其他课题
第一作者:陈新锋
合写作者:盛昊昊,王建利,唐刚,张俊廷,白冬梅
论文类型:期刊论文
论文编号:5b5bb29475fd92540175feba2eb703be
卷号:v 174,
ISSN号:0042207X
是否译文:否
发表时间:2020-04-01