专利
一种电容式MEMS气体传感器
发布时间:2023-09-01 点击次数:
学校署名:第一单位
发明设计人:王丽影,秦顺利
专利类型:国内
专利状态:专利授权
申请号:201611190665.9
发明人数:3
是否职务专利:否
申请日期:2016-12-21
授权日期:2020-12-15
第一作者:马洪宇
学校署名:第一单位
发明设计人:王丽影,秦顺利
专利类型:国内
专利状态:专利授权
申请号:201611190665.9
发明人数:3
是否职务专利:否
申请日期:2016-12-21
授权日期:2020-12-15
第一作者:马洪宇