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一种电容式MEMS气体传感器
发布时间:2023-09-01  点击次数:

学校署名:第一单位

发明设计人:王丽影,秦顺利

专利类型:国内

专利状态:专利授权

申请号:201611190665.9

发明人数:3

是否职务专利:

申请日期:2016-12-21

授权日期:2020-12-15

第一作者:马洪宇