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一种全固态MEMS电场传感器、制备方法及工作方法
发布时间:2023-09-01  点击次数:

所属单位:化工学院

专利范围:国内

学校署名:第一单位

发明设计人:王鸿志,吴力淞,王腊梅,李保东

专利类型:国内

专利状态:专利授权

申请号:202211243986.6

是否职务专利:

申请日期:2022-10-12

授权日期:2023-01-31

第一作者:马洪宇