专利
一种全固态MEMS电场传感器、制备方法及工作方法
发布时间:2023-09-01 点击次数:
所属单位:化工学院
专利范围:国内
学校署名:第一单位
发明设计人:王鸿志,吴力淞,王腊梅,李保东
专利类型:国内
专利状态:专利授权
申请号:202211243986.6
是否职务专利:否
申请日期:2022-10-12
授权日期:2023-01-31
第一作者:马洪宇