论文成果
Cantilever­type microheater fabricated with thick silicon
发布时间：2021-09-29 点击次数：
所属单位：化工学院
项目来源：国家科技部
第一作者：马洪宇
合写作者：丁恩杰
论文类型：期刊论文
论文编号：paper_99225
卷号：21;4;
ISSN号：0946­7076
是否译文：否
发表时间：2015-04-22