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  • 张德坤 ( 教授 ) 赞

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离子注入mems硅器件表面的微摩擦学性能研究
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所属单位：材料与物理学院
负责人姓名：张德坤
项目简要备注：老项目类型：基金A国家自然科学基金；校内研究人员：张德坤孙智王庆良刘金龙李伟王世博
项目来源单位：国家自然科学基金委
项目分类：国家自然科学基金
研究类别：应用研究
项目级别：国家级
项目编号：2004-027-2278
立项时间：2004-09-22
计划完成时间：2007-12-01
结项日期：2007-12-31
开始日期：2005-01-01
项目批准号：50405042
版权所有：中国矿业大学