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continuous measuring system for high-density resistivity of capacitor electrodes and measuring method

发布时间:2023-09-01| 点击次数:

学校署名:第一单位

发明设计人:陆占国,许新刚

专利类型:国内

专利状态:专利授权

申请号:LU500628

是否职务专利:否

申请日期:2021-07-09

授权日期:2022-07-03

第一作者:刘志新