李玉鹏

副教授

副教授 硕士生导师

电子邮箱:

所在单位:矿业工程学院

办公地点:矿业工程学院B508-1

论文成果

当前位置: 中文主页 >> 科学研究 >> 论文成果

基于正交试验的PECVD法沉积氮化硅薄膜工艺参数优化研究

发布时间:2021-03-16 点击次数:

所属单位:矿业工程学院
发表刊物:人工晶体学报
项目来源:国家自然科学基金项目
第一作者:吴晓松
合写作者:褚学宁,李玉鹏
论文类型:期刊论文
文献类型:J
卷号:43
期号:8
页面范围:1913-1920
是否译文:
发表时间:2014-08-16