发布时间：2021-03-12 点击次数：
DOI码：10.13922/j.cnki.cjovst.2015.03.06
发表刊物：真空科学与技术学报
第一作者：吴晓松
合写作者：褚学宁,李玉鹏,
论文类型：期刊论文
文献类型：J
卷号：35
期号：3
页面范围：1-10
是否译文：否
发表时间：2015-03-12