基于正交试验的PECVD法沉积氮化硅薄膜工艺参数优化研究

点击次数:

所属单位:中国矿业大学深地工程智能建造与健康运维全国重点实验室

项目来源:国家科技部

第一作者:杜良

合写作者:李娟娟,刘树才

论文类型:期刊论文

论文编号:paper_96909

卷号:19;Z3;

ISSN号:10893032

是否译文:

发表时间:2014-12-25