黄飞

副研究员

副研究员 硕士生导师

电子邮箱:

所在单位:碳中和研究院

学历:博士研究生毕业

办公地点:低碳院409#

在职信息:在岗

专利

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一种半导体片材的表面缺陷及厚度检测方法及装置

发布时间:2020-10-30 点击次数:

所属单位:碳中和研究院
发明设计人:闫爱华,赵辉,廖振华,尹诗斌,强颖怀,张绍良
专利类型:国内
专利状态:专利授权
申请号:201310542491.8
发明人数:7
是否职务专利:
申请日期:2013-11-05
授权日期:2015-11-04
第一作者:黄飞