类金刚石薄膜的残余应力调控研究进展

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DOI码::10. 11933 / j. issn. 1007-9289. 20220629002

所属单位:材料与物理学院

项目来源:国家自然科学基金项目

第一作者:杜乃洲

合写作者:付志民,冯存傲,郭鹏,李晓伟

论文类型:期刊论文

论文编号:5b5bb2949172839501919c9449f27978

卷号::,15

是否译文:

发表时间:2024-08-12