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论文成果
Directional etching for high aspect ratio nano-trenches on hexagonal boron nitride by catalytic metal particles
- 发布时间：2023-08-25
- 点击次数：
- DOI码：10.1088/2053-1583/ac5461
- 所属单位：材料与物理学院
- 项目来源：自选课题
- 第一作者：Chen, Chen
- 合写作者：He, Li,Jiang, Chengxin,陈令修,Wang, Hui Shan,Wang, XIujun,Kong, Ziqiang,Mu, Xiaojing,Wei, Zhipeng,Watanabe, Kenji,Taniguchi, Takashi,Wu, Tianru,Zhang, Daoli,Wang, Haomin
- 论文类型：期刊论文
- 论文编号：5b5bb294811477110181345fa7762bcf
- 卷号：卷: 9期: 2
- ISSN号：2053-1583
- 是否译文：否
- 发表时间：2022-04-01