论文成果
Cantilever­type microheater fabricated with thick silicon
发布时间：2021-09-29 点击次数：
所属单位：化工学院
项目来源：国家自然科学基金项目
第一作者：马洪宇
论文类型：期刊论文
论文编号：paper_99594
卷号：8;28;
ISSN号：2040-3364，2040-3372
是否译文：否
发表时间：2016-06-20