论文成果
Cantilever-type microheater fabricated with thick silicon
发布时间：2021-09-29 点击次数：
所属单位：化工学院
项目来源：国家科技部
第一作者：马洪宇
合写作者：丁恩杰
论文类型：期刊论文
论文编号：paper_94959
卷号：20;6;
ISSN号：1432-1858
是否译文：否
发表时间：2014-08-28
所属单位：化工学院
项目来源：国家科技部
第一作者：马洪宇
合写作者：丁恩杰
论文类型：期刊论文
论文编号：paper_94959
卷号：20;6;
ISSN号：1432-1858
是否译文：否
发表时间：2014-08-28