论文成果
The study of humidity effect on self-heated surface micromachined polysilicon resistor
发布时间：2021-09-28 点击次数：
所属单位：化工学院
项目来源：主管部门科技项目
第一作者：马洪宇
合写作者：张卫东,丁恩杰
论文类型：期刊论文
论文编号：paper_43528
卷号：483;;
ISSN号：10139826
是否译文：否
发表时间：2011-08-25